EUGENE TECH BJM3000 SINGLE DCS HTO
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EUGENE TECH BJM3000 SINGLE DCS HTO

商家设备
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CVD

类型

12

晶片尺寸

基本信息

  • 型号：BJM3000
  • 类型：CVD
  • 晶片尺寸：12
  • 设备数量：1
  • 销售状态：已出售

设备描述

EFEM 3xload port(Brooks robot), T/M(Brooks robot), 3xProcess module(MKS_FI20620-1), Control rack, UI, Stand monitor

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